过滤器泄漏检测

洁净度检测不达标的可能因素

    1.过滤器的测漏——由于安装密封不严造成的；

    2.过滤器的泄露——过滤器在运输或安装过程中损坏，或者在运行过程中由于乱流或者瞬间气流过大而吹破造成；

    3.过滤器风速过低——对于已经运行的洁净室可能过滤器即将达到终阻力而导致风速降低；

    4.洁净室的自身的密封不好；

    5.洁净室自身内部尘源发生变化；

    6.测试仪器发生问题。